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Vakuumtechnik

Von der Vakuumschraube bis zur kompletten Vakuumkammer.

Aluminium und AluVaC®-Technologien

Mit Aluminium und AluVaC®-Technologien stellt VACOM hochwertige, langlebige und ausheizbare Aluminiumkomponenten mit CF-Schneidkanten sowie ISO- und CF-Komponenten her. Vertrauen Sie auf die Vorteile des Aluminiums. Die Bauteile sind leicht, extrem ausgasarm und weisen eine geringe magnetische Permeabiltät auf. Tests haben die langzeitstabile Festigkeit der Schneidkanten nachgewiesen. Komponenten und Bauteile aus AluVaC® finden Sie in den unterschiedlichsten Produktgruppen.


Industrielle Prozesse, wissenschaftliche Bereiche sowie Forschung und Entwicklung wie in der Beschleunigertechnik oder EUV-Technologie erfordern zunehmend sauberes und besseres Ultrahochvakuum (UHV, p < 1 · 10-07 mbar) oder Extremhochvakuum (XHV, p < 1 · 10-11 mbar). Edelstahllösungen stoßen an ihre Grenzen, sodass sie zeit-, energie- und kostenintensiver werden. Aluminium präsentiert sich als der Werkstoff der Zukunft. Dies kann vor allem im Kammerbau für den UHV- und XHV-Bereich der zukünftige Werkstoff werden, denn beispielsweise ist es möglich mit leichtigkeit die Kosten zu reduzieren. Der stabile Langzeiteinsatz wurde durch langfristige in-house Tests nachgewiesen. Mittlerweile nutzen viele Unternehmen, Institute und Anwender unsere AluVaC®-Komponenten.  

 
AluVaC® CF-Komponenten und -Vakuumkammern aus 100 % Aluminium
Alle AluVaC®-Komponenten sind mit CF-Edelstahlkomponenten kompatibel. Gerade für Vakuumanwendungen in den Druckbereichen des UHV und XHV bietet Aluminium im Vergleich zu Edelstahl folgende Produkteigenschaften:

  • Geringere natürliche Materialausgasung: qA < 2 · 10-14 mbar⋅l⋅ s-1⋅cm-2
  • Energieeffizienteres Ausheizen bei Temperaturen von 120°C (vgl. 200 – 450 °C für Edelstähle)
  • Zeiteffizienteres Arbeiten durch schnellere Abpumpzeiten
  • Herstellung von Bauteilen mit geringer magnetischer Permeabilität (µr = 1,00002)  
  • Vorteile im Handling durch minimales Gewicht

Hochwertige, langlebige und ausheizbare Aluminiumkomponenten mit CF-Schneidkanten
VACOM fertigt CF-Anschlüsse ausschließlich aus Aluminiumlegierungen, ohne zusätzliche Beschichtung oder einen Edelstahlanteil. Die mechanische Festigkeit von 6xxx- Aluminium-Legierungen ist mit dem Einsatz weichgeglühter Kupferdichtungen für langzeitstabile CF-Schneidkanten nach ISO-3669 geeignet. Auch die für das Ausheizen notwendigen 120°C beeinflussen die Schneidkantenstabilität nicht. Tests haben ergeben, dass die extrem ausgasarmen AluVaC®-Bauteile ihre Funktionalität auch unter kurzzeitigen thermischen Belastungen bis Spitzentemperaturen von 180°C beibehalten. Überzeugen Sie sich selbst von den Testergebnissen


Viele Produkte im Portfolio mit AluVaC®-Technologie

Aluminium liefert durch die hervorragenden Material- und Fertigungseigenschaften die Vorausetzung für eine Vielzahl von Vakuumanwendungen.
Seit Einführung unserer AluVaC®-Serie wächst unser Standard- und Sonderkomponenten-Portfolio kontinuierlich. Kunden profitieren von dem umfangreichen Angebot und von der langjährigen Erfahrung in der Auslegung, Fertigung, und Reinigung von Aluminiumbauteilen. Je nach Anforderung können unsere Aluminiumkomponenten und -kammern nach VACOM® Purity Classes gereinigt und nach VACOM® Vacuum Classes klassifiziert werden.

Standardkomponenten aus Aluminium
Unsere Produktpalette umfasst ein umfangreiches Sortiment an Aluminiumkomponenten. Bei uns erhalten Sie KF- und ISO-Komponenten sowie CF-Bauteile (AluVaC®) aus hochwertigen 6xxxx-er Aluminiumlegierungen.
 
Optikkomponenten aus Aluminium mit CF-Schneidkante (AluVaC®- Optics)
In der Vakuumoptik haben wir die ersten Produkte aus Aluminium mit CF-Schneidkante entwickelt und in unser Portfolio aufgenommen. Mit unserer Serie AluVaC®-Optics erhalten Sie optische Präzision mit Aluminium. Gerade für Laser- UV-VIS oder Weitbereichsanwendungen eignen sich unsere Produkte hervorragend.

Schweiß- und Fräsbauteile aus Aluminium als Sonderkomponenten
Wir bieten Ihnen eine umfangreiche Beratung, reinigungsgerechte Konstruktion und Fertigung ihres individuellen Aluminiumbauteils. Unsere Aluminiumkammern überzeugen mit ihren hervorragenden Werkstoffeigenschaften und ihrer Einzigartigkeit im Kammerdesign.

Flexibilität im Kammerdesign durch AluVaC®-Technologie
Die zerspanende Bearbeitung von Aluminium im Vergleich zu Edelstählen kann weitaus zeit- und kosteneffizienter erfolgen. Bereits in der Konstruktionsphase können komplexe Schweißbaugruppen als rein zerspanend hergestellte Bauteile, soweit erforderlich, ausgelegt werden.
Zusätzlich ergeben sich weitere Vorteile:

  • vermehrte zerspanende Toleranzen
  • Reduktion von Schweißtoleranzen
  • extrem geringe Ausgasraten durch den Einsatz von Aluminium
  • kompakteres Design / mehr Abgänge auf Oberflächen realisierbar
  • kein Verzug durch Wasserstoffarmglühen (in situ bake-out 120°C ausreichend bei Aluminium)


Produktbeispiele

    CF-ISO-K-Adapter | 353271
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    Verfügbar
    KF-Kreuzstücke | 352019
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    Auf Anfrage
    CF-Standard-Zylinderkammern | 357971
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    Auf Anfrage
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