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MERKURION® Ionengetterpumpen
Ionengetterpumpen (IGP) werden vor allem für Vakuumanwendungen mit einem Druck < 10-5 mbar eingesetzt. Ihre Pumpwirkung basiert auf einer Getterschicht, die kontinuierlich mithilfe einer Gasentladung aufgefrischt wird. Dieses Funktionsprinzip verzichtet auf bewegliche Teile – damit arbeiten IGPs komplett schwingungsfrei, ausfallsicher und wartungsarm. Sie sind ideal für abgeschlossene Systeme, die ein dauerhaft zuverlässiges und tiefes Vakuum erfordern. Der Entladungsstrom ist proportional zum Arbeitsdruck. Dieser Effekt ermöglicht zum einen die Nutzung der Pumpe als grobes Druckmessgerät, zum anderen bei tiefem Druck einen sehr geringen Energieverbrauch. IGPs bieten somit ein sauberes und preiswertes Verfahren zum Erreichen und Erhalten extremer Vakuumumgebungen.
VACOM hebt die Technologie der Ionengetterpumpen mit der MERKURION®-Serie auf ein neues Niveau. Unsere IGPs bieten ein sauberes und preiswertes Verfahren, um Druckbereiche vom Hochvakuum bis Extremhochvakuum zu erreichen und effizient zu halten. Mit dem Angebot unterschiedlicher Flanschanschlüsse und Pumpengrößen wird eine leichte Integration in Ihre bestehenden Systeme ermöglicht. Die optional integrierbare Heizung sorgt in Kombination mit dem verbauten Temperaturschild für eine gleichmäßige Temperaturverteilung über die gesamte Pumpe. Hierbei sind insbesondere unserer Pumpen der pro -Serie hervorzuheben, die ganz ohne zusätzliche Isolierungsmaßnahmen (wie z.B. Aluminiumfolie) ausgeheizt werden können. Für das Pumpen von Edelgasen bieten wir unsere pro-Serie zusätzlich mit einem edelgasstabilisierten differenziellen Pumpelement (Ta/Ti-Noble-Diode) an.
Technische Daten
| MERKURION® pro | MERKURION® basic | |
| Pumpelement | Diode | Noble Diode | Diode |
| Edelgasstabil | Ja, mit Variante der Noble Diode | Nein |
| Typische Lebensdauer | 70.000 h bei 1 × 10-6 mbar | 50.000 h bei 1 × 10-6 mbar |
| Auslieferungszustand | · Gereinigt (PC 2 & UHV 1) · Unter Vakuum · Werkseitiger Funktionstest | Unter Vakuum |
| Nennsaugvermögen | Von 39 l / s bis 68 l / s | Von 3 l / s bis 300 l / s |
Wählen Sie Ihr IGP-Komplettpaket und Sie sind sofort einsatzbereit. Wir bieten zwei verschiedene Betriebsgeräte, um die beste Leistung mit Ihrer Ionengetterpumpe zu erzielen. Die Bedienung ist intuitiv und einfach, per Tasten oder Touchscreen. Darüber hinaus ist auch ein Datenaustausch via Schnittstelle möglich. Rufen Sie alle relevanten Informationen über das Display ab und lassen Sie sich diese je nach Bedarf auch als grafische Diagramm-Ansicht darstellen. Natürlich erhalten Sie bei uns auch ausheizfähige Kabel mit Sicherheits-Interlock (SAFECONN). Wir bieten Ihnen eine umfassende, kompetente Beratung und stehen Ihnen für alle Fragen rund um MERKURION® stets zur Seite.
Typische Anwendungen
Die Liste der Anwendungen für IGP ist äußerst vielfältig. Sie bilden einen festen Bestandteil von wissenschaftlichen Instrumenten, etwa in der Beschleunigerphysik, der Massenspektrometrie und der Oberflächenanalytik. Weiterhin erfordern die Herstellung von Vakuumröhren, die Entwicklung und Produktion von Halbleiterelementen, die Weltraum-Simulation und viele weitere Bereiche den Einsatz von IGP. Hier sei insbesondere noch auf die Anwendung in der Elektronenmikroskopie und Elektronenstrahllithographie hingewiesen. Trotz der dort üblichen, verhältnismäßig hohen Drücke sind IGP aufgrund ihrer absoluten Schwingungsfreiheit für diese Anwendungen unverzichtbar.
Funktionsweise von Dioden-Ionengetterpumpen
Eine IGP vom Typ Diode setzt sich zusammen aus einem oder mehreren Pumpelementen (je nach Saugvermögen), dem dazugehörigen externen Eisenjoch mit Permanentmagneten und dem Pumpgehäuse. Die Pumpelemente verrichten hierbei die eigentliche Pumparbeit. Jedes Pumpelement besteht aus einem festen Verbund aus zwei Kathodenblechen und einem Anodenelement (kurz Anode genannt), wobei diese über Keramikisolatoren elektrisch voneinander isoliert sind.
Die Anode ist aus zahlreichen kurzen Röhren aufgebaut, die wie Waben aneinander gesetzt sind. Jede Röhre bildet das Zentrum einer Penning-Zelle. Die Anode befindet sich zwischen den beiden Kathodenblechen, die durch einen Spalt von der Anode getrennt sind, worin die Restgasteilchen im Vakuum zum „Abpumpen“ einfallen können.
Je mehr Zellen das Pumpelement enthält, desto höher ist das Saugvermögen. Ein oder mehrere Pumpelemente werden in das Pumpengehäuse eingebaut. Das Pumpengehäuse ist an sich eine kleine Vakuumkammer, die Taschen zur Aufnahme der Pumpelemente besitzt. Die Permanentmagnete werden von außen auf die Taschen gesetzt und vervollständigen mit dem Eisenjoch den Aufbau.
Die Pumpwirkung einer IGP basiert auf folgenden Phasen:
- Erzeugung einer Elektronenwolke
- Ionisierung der Gasmoleküle
- Ionenaufprall und Freisetzung von reaktivem Kathodenmaterial
- Bindung von Gasteilchen und neutralisierten Ionen
