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Vakuumtechnik

Von der vakuumtauglichen Schraube bis zur kompletten Vakuumkammer.

Standardkomponenten

Zu den Standardkomponenten von VACOM zählen alle Bauteile von Vakuumanlagen, die zum Aufbau der Kammern und Vakuumleitungen notwendig sind, z. B. Flansche, Dichtungen, Rohrbauteile (Winkelstücke, T-Stücke, Kreuzstücke usw.), Vakuumkammern sowie Bewegungselemente. Der Einsatz in der Vakuumtechnik stellt dabei hohe Anforderungen sowohl an die Werkstoffauswahl als auch an die Fertigung dieser Komponenten.


Flanschsysteme

Für verschiedene Einsatzbereiche gibt es Verbindungsstandards, die auf unterschiedlichen Flanschsystemen beruhen. Deshalb sind VACOM-Vakuumkomponenten in allen wichtigen Standards erhältlich. Viele Komponenten sind für den Einsatz im Reinraum verfügbar. Diese Vakuumkomponenten zeichnen sich durch eine niedrige Partikelkontamination und -generation aus. Im UHV, XHV und UCV werden niedrige Ausgasraten gefordert und nachgewiesen.

FlanschsystemKF (ISO-KF)ISO (ISO-K, ISO-F)CFQCF (Quick-CF)
Nennweite [mm]DN10 bis DN50DN63 bis DN630DN10 bis DN400DN16 bis DN100
NormDIN 28403 / ISO 2861DIN 28404 / ISO1609ISO 3669-2ISO 3669-2
Weiter zum WebshopKF-KomponentenISO-KomponentenCF-KomponentenQCF-Komponenten


Darüber hinaus sind wir darauf spezialisiert, Vakuumkomponenten nach Ihren Anforderungen zu fertigen. 

QCF-Komponenten

Die QCF-Komponenten und die dazugehörigen Spannketten VaCFix® ermöglichen die schnelle Montage im UHV-Bereich. Sie vereinen das Dichtprinzip der CF-Flansche (Schneidkanten nach ISO 3669,ConFlat®-kompatibel) und das einfache Montageprinzip mittels Spannkette.
QCF-Komponenten lassen sich schnell, einfach und zugleich platzsparend montieren und sind mittels Adapter an alle vorhandenen Vakuumanlagen anschließbar. Die CF-QCF-Adapter stellen für die Anwender die Möglichkeit dar, die QCF-Verbindungstechnik an bereits vorhandenen UHV-Anlagen einzusetzen und damit stets flexibel sowie anbieterunabhängig zu bleiben. Für alle Nennweiten können die im Markt üblichen Kupferdichtungen verwendet werden. Die Forderungen der UHV-Technik an eine Leckrate von < 1.0E-11 mbar l/s und die Ausheizbarkeit der Flanschverbindung bis 350 °C werden erfüllt.
VaCFix®-Spannketten sind auch für die Verbindung von KF- und konischen ISO-Flanschen einsetzbar.

Die Schnellverbindung für das HV, UHV und XHV:

  • Bis zu 75 % kürzere Montagezeiten sind ein enormer Vorteil bei häufig zu öffnenden Flanschverbindungen.
  • Ideales UHV-taugliches Schnellschlussprinzip für den Einsatz in radioaktiver Umgebung – der Einsatz von QCF-Verbindungen reduziert das Belastungsrisiko des Montagepersonals deutlich.
  • QCF-Flansch-Verbindungen können wie drehbare Flansche in jeder beliebigen Winkelposition montiert werden.
  • Auch bei engen Platzverhältnissen lassen sich VaCFix®-Spannketten schnell und einfach montieren.
  • QCF-Komponenten sind bei Einsatztemperaturen von -270 °C bis 350 °C von unabhängigen Instituten erfolgreich getestet worden.
  • VaCFix®-Spannketten sind auch für die Montage spannungsempfindlicher Flanschbauteile wie z. B. Schaugläser und Durchführungen hervorragend geeignet, da die Spannketten bei Verwendung eines Drehmomentschlüssels einen sehr gleichmäßigen Anpressdruck gewährleisten.
  • Durch definierte Erhöhung des Drehmomentes können Kupferdichtungen bis zu dreimal verwendet werden.

 

Vergleich der QCF-Verbindungstechnik mit der klassischen CF-Flanschmontage

 

 NennweiteQCFCF

Montagezeit:
< 75 % kürzere Montagezeiten (in s)

DN1630 s180 s
DN4030 s180 s
DN6340 s240 s
DN10080 s360 s

Platzbedarf / Montagefreiheit:

  • Ca. 50% weniger Platzbedarf (in mm)
  • einfache Montage auch in Zwangslage
DN1624 mm35 mm
DN4024 mm61 mm
DN6328 mm80 mm
DN10041 mm90 mm

 

Weitere Produktdetails:

  • Bohrlochausrichtung - drehbare / feste Flansche:
    QCF-Flansche haben keine Schraubenbohrungen. Damit entfällt die Ausrichtung des Lochkreises beim Anschweißen. Drehbare Flansche sind deshalb nicht erforderlich.

  • Dichtprinzip / Dichtmedium:
    Gleiches Dichtprinzip (ISO 3669) und gleiche Standard-Kupferdichtung wie die klassische CF-Verbindung.

  • Unabhängigkeit von Flanschsystemen:
    Mittels QCF-CF-Adapter ist das für die jeweiligen Anforderungen am besten geeignete Verbindungssystem kombiniert einsetzbar.

  • Nichtmagnetische Flanschverbindung:
    VaCFix® Spannketten sind nichtmagnetisch, in Verbindung mit QCF-Flanschen aus Edelstahl 1.4429 entsteht eine UHV-Flanschverbindung mit einer magnetischen Permeabilität < 1,005.


Werkstoffe

VACOM verwendet nur vakuumtaugliche Werkstoffe wie z. B. Edelstähle, Aluminium, Gläser, Keramik, Kupfer, Nickelbasislegierungen, Tantal und Titan. Für anspruchsvolle Vakuumanwendungen hat VACOM geschmiedeten korrosionsbeständigen Edelstahl 1.4429-ESU (316LN ESR) vorrätig. Dieser im Elektroschlacke-Umschmelzverfahren (ESU/ESR) gefertigte Werkstoff zeichnet sich durch besondere Reinheit und Homogenität, große Härte und sehr niedrige magnetische Permeabilität aus. Der Werkstoff wird eigens nach Spezifikation von VACOM gefertigt. Bezüglich der Zusammensetzung und Reinheit hat sich VACOM am technischen Stand orientiert und Toleranzen deutlich enger gefasst, als die Norm es vorgibt. Der VACOM-ESU-Stahl unterliegt von der Schmelze bis zum Endprodukt der Kontrolle durch VACOM.

 

Eigenschaften von verwendeten Edelstählen bei VACOM:
Werkstoff / ASTMRp 0,2 (0,2 % Dehngrenze) [N/mm²]Härte [HB]Max. empfohlene
Einsatztemp.
[°C]
Magnetische-
Permeabilität 
Korrosions-
widerstands-
klasse
1.4301 / 304≥ 190≤ 190450≤ 1,3II
1.4307 / 304L≥ 175≤ 215450≤ 1,3II
1.4404 / 316L≥ 200≤ 215500≤ 1,1III
1.4429-ESU / 316LN-ESR≥ 280≤ 250500≤ 1,005III
1.4541 / 304Ti≥ 190≤ 215450≤ 1,3II
1.4571 / 316Ti≥ 200≤ 215550≤ 1,3III

 

 Bei Fragen zur Werkstoffverfügbarkeit, der Vakuumtauglichkeit von Werkstoffen und den Bearbeitungsmöglichkeiten beraten wir Sie gern.


Produktbeispiele

    CF-Flansche mit Rohransatz, fest, Gewindelöcher, Edelstahl-304L | Order no: 334694
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    Auf Anfrage
    KF Spannringe für Elastomerdichtungen, Edelstahl, massiv | Order no: 404097
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    Verfügbar
    ISO-K-Zwischenstücke, Edelstahl-316L | Order no: 301110
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    Verfügbar
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