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Vorvakuumsensoren

Vorvakuumsensoren messen den Druck in einer Vakuumkammer im Bereich des Grob- und Feinvakuums. Darüber hinaus stellen sie den korrekten Startdruck für Hochvakuumsysteme sicher.

Membransensoren sind Universalsensoren mit Aluminiumoxid-Membran für gasartunabhängige Messung bis ins Hochvakuum.

Wärmeverlustsensoren decken den Druckbereich von ATM bis Feinvakuum ab. Dabei werden für die Messung die druckabhängigen Wärmetransporteigenschaften des Gases genutzt.

Besonders im Grobvakuum stellen Rohrfedersensoren ein hochgeschätztes Instrument dar, da sie im Umgang mit Gasen keine Abhängigkeiten aufweisen und eine stabile und robuste Beschaffenheit haben.

Vorvakuumsensoren

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