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Vakuumtechnik

Von der vakuumtauglichen Schraube bis zur kompletten Vakuumkammer.

Vakuummesstechnik

Für die Funktionalität von Vakuumanwendungen muss der Druck zuverlässig angezeigt oder reproduzierbar eingestellt werden. Mit den üblichen Sensoren können Sie den Totaldruck in den Bereichen von Atmosphäre (atm) bis zum Hochvakuum (HV) zuverlässig bestimmen. Verwenden Sie die einfache und sehr robuste Methode eines kapazitiven Membranvakuummeters. Oder nutzen Sie das Pirani-Vakuummeter, welches die Druckabhängigkeit der Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Druckmessung einsetzt. Das Multifunktionsvakuumeter NOVION® von VACOM ermöglicht die Druckbestimmung bis ins Ultrahochvakuum (UHV). 


Multifunktionsvakuummeter NOVION®

NOVION® ist ein vielseitiges Messgerät. Es ermöglicht eine Weitbereichsdruckmessung von Atmosphärendruck bis ins UHV, sowie die Detektion von Helium und Restgasanalysefunktion von Massezahl 1 bis 300. Mithilfe dieser Neuentwicklung können Sie Ihr Vakuum in industriellen Prozessen oder im täglichen Laborgebrauch umfassend überwachen. NOVION® ist aufgrund seiner Kompaktheit (100 x 73 x 66 mm ohne Betriebsgerät) und seines handlichen Gewichts von ca. 1 kg sehr benutzerfreundlich.  Es ist zudem leicht zu bedienen und flexibel zu montieren (KF 25 / CF 40). Sie können den Sensor bis zu 200 °C (ohne Betriebsgerät) ausheizen und in einem Temperaturbereich von 10 bis 45 °C anwenden.

Das Wichtigste auf einen Blick:

  • Weitbereichsdruckmessung von Atmosphäre bis UHV
  • Restgasanalyse, auch bei hohen Drücken bis zu 5E-3 mbar
  • Helium-Lecksuche ohne zusätzliche Instrumentierung
  • Schnelle Druck- und Partialdruckmessung in einem Gerät
  • Einfache und umfangreiche Prozessüberwachung
  • Einfache und intuitive Bedienung über die umfangreiche Software Novion® Viewer

 

Technische Daten

Messprinzip:

Ionenfalle und Elektronenstoßionisation
Flugzeit-Massenspektrometrie 
Wärmeleitung (Pirani) 
Vakuumanschluss:CF40 
Ausheiztemperatur:80°C am Flansch (mit Betriebsgerät)
200°C (ohne Betriebsgerät)
Betriebstemperatur:10 °C bis 45 °C 
Filamente:2x Iridium, yttriumbeschichtet
Materialien im Vakuum:SS, Au, Y2 O3 auf Ir, Glas, Cu, Al2 O3
Gewicht:Sensorkopf: ca. 1 kg (flanschabhängig)
Steuergerät: ca. 0,76 kg
Einbaulage:

Beliebige für p < 10 mbar
Positionsabhängig p > 10 mbar

Abmessungen:mit Steuereinheit: 260 × 73 × 66 mm 
ohne Steuereinheit: 100 × 73 × 66 mm

 

Anwendungen

  • Heliumleckdetektion
  • Detektion von Kontamination und Leckagen (Schweren Kohlenwasserstoffen, Luftlecks, Wasser, usw.)
  • Wasserstoffdetektion ohne Störung 

 

Lieferumfang

  • Sensor
  • Abnehmbare Steuereinheit
  • 24 V Spannungsversorgung
  • PC Anschlusskabel: RJ45-Datenkabel mit USB zu RS232-Adapter

Kapazitive Membranvakuummeter

Membranvakuumsensoren eignen sich zur gasartunabhängigen Druckmessung bis ins Hochvakuum. Dabei zeichnen sich die kapazitiven Membransensoren durch ihre hohe Genauigkeit in der Druckmessung aus (typischerweise 0,2 % vom Messwert). Diese ergibt sich durch temperaturstabilisierte Sensoren, die auf 45° konstanter Temperatur geregelt sind und damit Temperatureinflüsse auf das Messergebnis verringern. Weitere Vorzüge stellen der bedenkenlose Einsatz beim Auftreten unterschiedlicher Gase in verschiedenen Zusammensetzungen sowie die Widerstandsfähigkeit gegen korrosive Gase dar.

  • Universalsensor mit Aluminiumoxid-Membran für gasartunabhängige Messung
  • Für korrosive Prozesse geeignet
  • Gegenüber Metallmembranen verringerte Sensor-zu-Sensor-Unterschiede
  • Verbesserte Langzeitstabilität
  • verkürzte Membran-Rückstellzeit

Wärmeverlustvakuummeter

Wärmeverlustsensoren nutzen die druckabhängigen Wärmetransporteigenschaften des Gases für die Druckmessung und sind insbesondere für Anwendungen in der chemischen Industrie, der Vakuummetallurgie, dem Elektronenstrahlschweißen und bei Bedampfungsprozessen geeignet. Diese decken nach dem Pirani-Prinzip den gesamten Druckbereich von Atmosphäre bis Feinvakuum (10-4 mbar) ab. Die Grundidee besteht darin, einen Draht auf eine konstante Temperatur zu heizen, die viel höher ist als die des umgebenden Restgases im Vakuum. Dabei zeichnen sie sich durch ihre Genauigkeit aus, die mit ±10 % im bevorzugten Messbereich für viele Anwendungen ausreichend ist.


Relativdruckmanometer

Relativdruckmanometer stellen gerade im Grobvakuum ein hochgeschätztes Instrument dar, da sie im Umgang mit Gasen keine Abhängigkeiten aufweisen. Diese werden zur Überprüfung des Druckes in Gasleitungen, zum Arbeiten mit korrosiven Gasen oder zur Datensammlung im Labor per analoger Schnittstelle (Anbindung an SPS) verwendet. Im oberen Druckbereich (bis zur Atmosphäre) verursachen die auf eine speziell ausgewählte Fläche wirkenden Kräfte ihre deutliche Verformung. Da diese annähernd proportional zum Druck ist (Hooksches Gesetz), kann ihre Messung zu einer direkten Aussage über den aktuellen Druck herangezogen werden.


Anzeigen und Betriebsgeräte (Controller)

VACOM stellt eine Reihe an Betriebsgeräten für vielfältige Einsatzgebiete wie bspw. Labore oder auch für Anlagen her. Eine stabile und robuste Beschaffenheit der Instrumente ist daher selbstverständlich. Die Betriebsgeräte von VACOM bieten eine Vielfalt an Kombinationsmöglichkeiten in Bezug auf Anschlüsse verschiedener Sensoren. Ebenso können über Schaltpunkte mehrere Peripheriegeräte gesteuert werden. Durch diese Optionen lassen sich die Betriebsgeräte sowohl zur einfachen Druckanzeige bzw. Druckauslese als auch als Schaltzentrale zur Prozesskontrolle hervorragend einsetzen.


Produktbeispiele

    "3 in 1" Weitbereichsvakuumsensor | Order no: 363842
    Membransensor, temperaturkompensiert, keine Schaltpunkte | Order no: 413985
    Aktiver Konvektions-Piranisensor | Order no: 300459
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