Vakuumventile

Eckventile dienen der Gasabsperrung bzw. groben Durchflussregulierung in Vakuumanwendungen. Sie werden durch ihre 90° versetzten Anschlüsse rechtwinkelig in Vakuumleitungen verbaut.

Durchgangsventile dienen der Gasabsperrung bzw. groben Durchflussregulierung in Vakuumanwendungen. Durch die gegenüberliegenden Anschlussflansche lassen sich Inline-Vakuumleitungen realisieren.

Schieberventile benötigen nur kleine Einbaulänagen, v. a. bei größeren Nennweiten, und bieten zudem einen großen Leitwert für beste Strömungsbedingungen bis ins Ultrahochvakuum.

Ganzmetallventile erlauben mit Ihren Metalldichtungen ein Ausheizen in hohen Temperaturen und Gasabsperrungen bis ins Ultrahochvakuum. Ihre Bauweise und Funktion ist vergleichbar zu konventionellen Eckventilen. 

Kugelhähne sind einfache und robuste Ventile für die Grob- und Feinvakuumumgebung. Grundsätzlich unterscheidet man zwischen 2 oder 3 Anschlüssen, um Gasströme abzusperren bzw. zu leiten.

Gasdosierventile erlauben ein präzises und reproduzierbares Zuführen von Luft oder Gasen, um Vakuumprozesse oder das Belüften von Vakuumkammern gezielt zu beeinflussen. Z. T. Option mit Schrittmotor.

Sonderventile umfassen spezielle Ventillösungen für Vakuumanwendungen: z. B. gezieltes Belüften bzw. Evakuieren, Gasdosierung, Ablass von Überdruck (Betriebsicherheit).