VPCF63EUVQ-L-VAR1
UHV Fused Silica Schauglas, optisch, VAR-beschichtet | 408950Verbindungstyp
CF
Nennweite
63
Fenstermaterial
Quarzglas (EUV Laser Grade)
Beschichteter Durchmesser
> 59 mm
Beschichtungswellenlänge(n)
193 nm
Reflektivität pro Oberfläche
R < 0,25%
Oberflächenqualität
20/10 (scratch/dig)
Ebenheit (bei 632,8 nm)
< lambda/4
Verbindungstyp
CF
Nennweite
63
Fenstermaterial
Quarzglas (EUV Laser Grade)
Beschichteter Durchmesser
> 59 mm
Beschichtungswellenlänge(n)
193 nm
Reflektivität pro Oberfläche
R < 0,25%
Oberflächenqualität
20 scratch/dig
Ebenheit (bei 632,8 nm)
< lambda/4