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Vakuumtechnische Messungen

Die Performance Ihres Vakuumsystems testen.

Spezieller Vakuumservice

Sie setzen auf ein stabiles Vakuum für Ihre Prozesse? VACOM bietet Ihnen Services, die Ihnen messbare Sicherheit geben. Wir prüfen die Leistung Ihrer Ionengetterpumpen oder die Dichtheit Ihres Vakuumsystems. Mit Lecktests und Partikelmessungen stellen wir die Qualität Ihrer Vakuumkomponenten fest. Mit Ausgasmessungen identifizieren wir die Ausgasraten Ihrer verwendeten Materialien. VACOM bietet Ihnen folgende vakuumspezifische Messungen:

 

Saugvermögensbestimmung nach DIN28429

Für die Saugvermögensbestimmung unserer eigenentwickelten sowie kundenspezifisch entwickelten und produzierten Ionengetterpumpen nutzen wir verschiedene Saugvermögensstände nach DIN28429. Dadurch kann eine vollständige Charakterisierung der Ionengetterpumpe ermöglicht und dokumentiert werden. Dabei werden z. B. das Saugvermögen in dem jeweiligen Druckbereich, das magnetische Streufeld und die maximale Leistungsaufnahme bestimmt. Auf diesen Grundlagen können Ionengetterpumpen für Kundenprozesse optimiert werden. Eine gezielte Optimierung kann beispielsweise dazu führen, dass im Anwendungsfall das Saugvermögen in kritischen Druckbereichen erhöht wird. Als Prüfgas wird standardmäßig Stickstoff eingesetzt, es können jedoch auch andere Prüfgase auf Anfrage verwendet werden.

 

Dichtheitsprüfung für Vakuumanlagen

Durch Undichtigkeiten an Vakuumanlagen gelangt Luft aus der Atmosphäre in das System. Je nach Grad der Leckage führt dies zur Störung der Anwendung aufgrund der Druckanstiege und Verunreinigungen. Um eine optimale Prozessstabilität und -qualität für Ihre Anwendung sicherzustellen, bieten wir fachmännisch durchgeführte Helium-Lecktests an. Unabhängig von Bauformen und Baugruppen werden dabei alle potentiellen Schwachstellen in der Konstruktion lokal mit getestet. Es werden Leckraten bei Drücken von 1 ⋅ 10-9 mbar⋅l⋅s-1, 1 ⋅ 10-10 mbar⋅l⋅s-1 oder 5 ⋅ 10-11 mbar⋅l⋅s-1 ermittelt und dokumentiert. Ein Lecktest-Protokoll gehört zum Dienstleistungsauftrag dazu. Die Überprüfung der Vakuumdichtheit von reinraumtauglich gereinigten Bauteilen wird im Reinraum durchgeführt. Dafür steht je nach Spezifikation der Bauteile ein Prüfplatz für die Reinraumklassen ISO 7 und ISO 5 zur Verfügung. Im Anschluss an die Dichtheitsprüfung verpacken wir Ihre Bauteile reinraumgerecht.

 

Inhouse-Lecktest

Nutzen Sie unsere Expertise bei Lecktests bis ins Ultrahochvakuum, die wir inhouse durchführen. Mittels Helium-Lecktester oder Massenspektrometer untersuchen wir Bauteile und Baugruppen nach Gas- und Flüssigkeitslecks und können diese genau lokalisieren. Auf Grundlage der Daten und konstruktiven Bedinungen können zudem auch virtuelle Lecks näher untersucht werden. Auf Wunsch erhalten Sie von uns eine Beratung zur nachhaltigen Vermeidung von Leckagen. Kriterien hierbei können die Komponenten-/Materialauswahl, die Konstruktion oder Prozessabläufe sein.

Ausgasmessung

Prozesse im Vakuum sind hinsichtlich Ihrer Effizienz und Qualität unter anderem stark von Verunreinigungen und Ausgasverhalten auf vakuumseitigen Bauteiloberflächen abhängig. Wir machen die Sauberkeit von Vakuumkomponenten und Vakuumkammern messbar und bieten damit die Grundlage zur Auswertung. VACOM führt qualifizierte Ausgasmessungen Ihrer Bauteile und Baugruppen durch. Mit Hilfe unserer qualitativen und quantitativen Restgasanalyse (RGA) weisen wir kleinste Kontaminationen, beispielsweise leicht- und schwerflüchtiger organischer Verbindungen, nach. Unsere Nachweisgrenze liegt dabei bei 3 ng/cm3. Auf Wunsch werten wir die Dokumentation der Ergebnisse für Sie zur Optimierung Ihrer Prozesse aus.

Partikelmessungen

Sie benötigen Unterstützung, um Ihre Materialien, Bauteile oder Baugruppen partikelarm zu fertigen und die Reinraumeignung festzustellen? Wir empfehlen Ihnen unsere Restpartikelbestimmung, Oberflächen-, Durchströmungs- oder Abblasmessungen. Zum Einsatz kommen dabei Reinstluft und Reinststickstoff. Auch Messungen mit ionisiertem Stickstoff für einen zusätzlichen Reinigungseffekt können durchgeführt werden.

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