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1m hohe AluVaC®-Kammer

Analysetechnik ist eng mit der Forschung im Nanobereich verbunden. Spektroskopie und hochauflösende Mikroskopie kommen dabei zum Einsatz. Das Luxembourg Institute of Science and Technology (LIST) entwickelt als missionsorientierte Forschungs- und Technologieorganisation Prototypen für öffentliche und privatwirtschaftliche Anwender.  In diesem Zusammenhang hat LIST ein einzigartiges Analysetool auf Basis eines Helium-Ionen-Mikroskops entwickelt. Dieses Analysemikroskop hat eine bisher unerreichte laterale Auflösung von 15 nm. Damit werden Objekte sichtbar, die 100.000-mal kleiner sind als der Durchmesser eines menschlichen Haares. Das Spektrometer des nun kommerziell erhältlichen Mikroskops ist in eine spezielle Vakuumkammer (1m hohe Kammerkonstruktion der AluVaC®-Serie) integriert, die LIST und VACOM gemeinsam entwickelt haben.


Die UHV-taugliche Kammer besteht komplett aus Aluminium und besitzt diverse CF- und ISO-Anschlüsse. Durch ein energieeffizienteres Ausheizen bis 120°C werden tiefe Drücke schnell erreicht. Die geringe magnetische Permeabilität und die minimale Ausgasung des Materials der AluVaC®-Serie entsprechen hervorragend den technologischen Anforderungen etwa der Halbleiterindustrie, bei der Produktion von Lithium-Batterien, in der Biologie oder in der Medizin.

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