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Ultrahochvakuum
Die Material- und Pumpenauswahl sind neben der Bauteilsauberkeit entscheidende Faktoren dafür, wie Sie den Druckbereich des Ultrahochvakuums effizienter und schneller erreichen. Finden Sie bei VACOM sämtliche Produkte für Ihre Anwendungen im Ultrahochvakuum: von komplett metall-gedichteten CF-Anlagen über unser Multifunktionsvakuummeter bis hin zu leistungsstarken Ionengetterpumpen. Bei der Entwicklung und Fertigung der Bauteile haben unsere Experten das Ziel, Ihren gesamten Prozess zu optimieren. Das beginnt mit dem in-situ Ausheizen der Materialien, das die Desorptionsrate von Wasser, leichtflüchtigen Kohlenwasserstoffen und schwerflüchtigen organischen Verbindungen reduziert. Durch die Materialbehandlung in Kombination mit unseren gasdichten Ganzmetallverbindungen reduzieren sich Ihre Anlaufzeiten erheblich. UHV-Bedingungen erreichen Sie sogar noch einfacher und schneller mit unserer AluVaC®-Technologie. Mit unseren komplett aus Aluminium gefertigten Bauteilen erreichen Sie das UHV bereits bei Ausheiztemperaturen von 120°C und sparen dadurch Energiekosten. Profitieren Sie von der Langlebigkeit unserer MERKURION® Ionengetterpumpen, die mit tieferem Druck zunimmt. Gestalten Sie die Messung und das Überprüfen Ihre Vakuumbedingungen neu mit unserem Weitbereichs-Vakuummeter NOVION®. Dieses vereint für Sie in einem kompakten und leicht bedienbaren Gerät Massenspektrometrie, Heliumdetektion und Druckmessung. Neben der geeigneten Material- und Produktwahl spielt die Bauteilsauberkeit eine essentielle Rolle für die tiefen Druckbereiche. Unsere Bauteile werden auf Wunsch nach höchsten Anforderungen der Halbleiterindustrie, der chemischen sowie der pharmazeutischen Industrie gereinigt.
Neben unseren zahlreichen Standardkomponenten sind wir Ihr Ansprechpartner für standardnahe Komponenten und Sonderkomponenten. Wir designen, fertigen und reinigen für Sie Produkte exakt nach Ihren Anforderungen.
